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3月5日消息，Intel發(fā)布了一條特殊的開箱視頻，堪稱史上最貴：他們從ASML拿到的全球第一臺(tái)高NA EUV光刻機(jī)，已經(jīng)開始在美國俄勒岡州希爾斯伯勒附近的工廠內(nèi)安裝了。
這臺(tái)型號(hào)為Twinscan EXE:5000的光刻機(jī)著實(shí)是個(gè)龐然大物，運(yùn)輸過程中動(dòng)用了250個(gè)貨箱，總重約150噸，先用飛機(jī)從荷蘭運(yùn)到俄勒岡州波特蘭，再用卡車分批次拉到工廠。
目前安裝的還只是核心組件，全部搞定需要250多名ASML、Intel的工程師，耗時(shí)約6個(gè)月，然后還得花時(shí)間調(diào)試。
這臺(tái)光刻機(jī)主要作為研究之用，將會(huì)在Intel 18A節(jié)點(diǎn)上進(jìn)行測試，但大規(guī)模量產(chǎn)得等到剛剛宣布的Intel 14A節(jié)點(diǎn)上，時(shí)間預(yù)計(jì)2025-2026年左右 。
該光刻機(jī)可以實(shí)現(xiàn)8nm的分辨率，而現(xiàn)有低NA光刻機(jī)單次曝光只能做到13nm，同時(shí)晶體管密度幾乎可以增加3倍。
大家非常關(guān)心的價(jià)格上，ASML的說法是大約3.8億美元，但這只是起步價(jià)，更高配置自然更貴，Intel CEO帕特·基辛格透露在4億美元左右，也就是逼近29億元。
相比之下，低NA EUV光刻機(jī)約為1.83億美元。
除了Intel，三星、臺(tái)積電、SK海力士也都訂購了高NA EUV光刻機(jī)，首批訂單有數(shù)十臺(tái)。
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